“连德国这样的工业强国都没有自己的光刻机，中国哪来的勇气研发设备？” 这个曾是欧洲专家发出的所谓的质疑。言下之意反映出的是，德国孕育了令全球车迷倾心的豪华汽车品牌，拥有被业界称为工业之手的西门子和光学之眼的蔡司。论精密制造底蕴，德国在全球都是顶尖的存在。 可偏偏在光刻机这件事上，德国交了白卷。 结果告诉你哪儿来的勇气 客观说，德国有一流的零部件，却没有把这些零件整合成一台能稳定量产芯片的巨型机器的能力。真正把全球资源捏合起来的，是荷兰的阿斯麦，服务全球客户，把美国、日本、德国各行各业最拔尖的人才和技术都吸进自己的体系，研发人员占到员工总数的四成左右。 所以德国没做成。但问题来了，德国没做成，就等于中国不能做吗？ 先把“勇气”这个词拆开看。中国研发光刻机的勇气，不是谁一拍脑袋喊出来的口号。上海微电子刚成立的时候，几乎是一穷二白，没有现成的人才梯队，没有多年沉淀的技术积累，更没有配套齐全的产业供应链。 想到国外寻求合作，换来的却是怀疑和冷眼。 在那些把持着高精度设备命脉的国家看来，光刻机的格局早已被少数几家锁死，中国人想挤进去当第四股力量，简直是天方夜谭。 可人就是这样，被激将法逼到墙角，反而容易把血性逼出来。回国之后相当长的一段时间里，整个团队都憋着一股劲，带着“你说我不行我偏要做给你看”的赌气往前拱。 最早的曝光机瞄准的是AMOLED和LCD显示屏的制造，随后推出了面向二到六英寸基底的步进式设备，能够满足Mini LED、MEMS传感器这类产品的加工需求。 真正让国产光刻机打出名气的，是面向先进封装领域的那一代产品。靠着这些扎扎实实的产品，国产先进封装光刻机在国内市场的占有率已经超过八成，在国际市场也拿下了约三分之一的份额。这是一台台机器被客户验收、被产线接纳一点点换来的。 最近，成都双流的中特微就是最新鲜的例子。 这家成立不足五年的公司，核心技术团队源自中国科学院重庆绿色智能技术研究院，避开行业扎堆角逐的高端EUV和DUV投影光刻赛道，精准布局近紫外接近式光刻和LDW激光直写光刻细分市场。2023年率先突破接近式光刻机技术，实现4/6英寸产品批量生产，打破海外设备垄断格局。 根据《中国经济报》报道，目前产品已供货国内数十家行业头部企业，在光显示领域细分市场占有率在80%左右。今年整体订单金额突破1亿元，预计明年产能达到300台。 与此同时，刻蚀设备这条线上，中微公司已经开发出54种高端半导体设备，累计超过8800个反应台在国内外220余条生产线实现量产。 中微首创的甚高频去耦合反应离子刻蚀技术，推出三年后便被泛林、应用电子、东京电子全部效仿，如今全球100%的CCP刻蚀机都在采用这一技术路径。 尹志尧说得很清楚：国产刻蚀机在今年夏天已经做到自主可控。 所以回到那个问题，哪来的勇气？结果告诉你哪儿来的勇气。 特别
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